洁净工作台过滤器检漏、风速的校准方法

 过滤器检漏

1) 光度计扫描法

使用多分散气溶胶( 冷烟) 发生器向过滤器上 游侧发浓度为 10μg /L 的 PAO-4 分散气溶胶微粒并 将气溶胶光度计示值标定为 100% ，

同时用气溶胶 光度计的采样探头在过滤器下游侧距过滤器出风 面 20 ～ 30mm 处，沿着过滤器整个出风面、过滤片的 边缘等处进行扫描巡检，

采样流量为 28. 3L /min，巡 检速度为15 ～ 30mm /s，气溶胶光度计所显示的结果 即为过滤器的穿透率。

2) 计数扫描法

当大气层浓度足够大( 对于高效过滤器工作 台，上游粒径≥0. 5μm 的气溶胶浓度须大于等于 4000 个/L;

对于超高效过滤器工作台，上游粒径≥ 0. 3μm 的气溶胶浓度须大于等于 6000 个/L) 时，可 选择大气层作为过滤器检漏的测试，不满足上述要 求时，

宜使用多分散 PAO-4 气溶胶，同时用激光尘 埃粒子计数器的采样器在过滤器下游侧距过滤器 表面 20 ～ 30mm 处，沿着过滤器整个出风面、过滤片 的边缘等处进行扫描巡检，

采样流量为 28. 3L /min， 扫描速度为15 ～ 30mm /s，激光尘埃粒子计数器所测 量的结果即为过滤器下游泄漏粒子浓度。

风速

1) 垂直气流平均风速在距离内侧壁板和窗口 100mm 围成的，距出风 网板 100mm 处的平面区域内测量垂直气流的平均 风速，测量点按行、列均为 150mm 的网格分布，各网 格中心点为测量点

，每个点测量 3 次，若去除测量边 界后净尺寸不等于 15 的整数倍，则允许修正测量点 距离，平均风速为各测量点读数的平均值，计算如 式( 1) 所示

式中，V 为风速平均值，m /s; Vij为第 i 点第 j 次 测量值，m /s; n 为测量点数。

 2) 水平气流平均风速 在距离内侧壁板和窗口 100mm 围成的，距出风 网板前侧 100mm 处的平面区域内测量水平气流的 平均风速，测量点按行、列均为 150mm 的网格分布，

各网格中心点为测量点，每个点测量 3 次，若去除测 量边界后净尺寸不等于 15 的整数倍，则允许修正测 量点距离，平均风速为各测量点读数的平均值，计 算如式( 1) 所示。

3) 风速不均匀度 各测量点测量值的相对实验标准偏差为风速 不均匀度，风速不均匀度 βV 计算如式( 2) 所示。